在高精密涂布和更广泛领域成为世界级头部企业。
技术规格参数 | 标准值 |
基片类型 | 显示及浮法平板玻璃,合成树脂(刚性和柔性面板),金属(刚性及柔性)等 |
基片尺寸 | 典型370x470,最大尺寸为450x650mm |
基片厚度 | 玻璃:0.5~4.0mm,塑料:下至150μm,金属箔:下至50μm |
基片加载与卸载 | 手动或全自动化操作 |
涂层厚度范围 | 20nm~大于50um(干膜,取决于材料属性与系统参数设置) |
膜厚一致性 | 对于大于150nm的膜厚(干膜),±3%或更优;对于50-150nm的膜厚(干膜),±5%或更优 |
涂布开始/结束边缘影响宽度 | 5~10mm或更小 |
涂布材料粘度范围 | 标准1~50cP,典型地使用高粘度泵则可达10000cP |
材料利用率 | 大于95% |
制程周期(TACT) | 典型为60秒,取决于基片尺寸及自动化程度 |