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产品参数
Product Parameters
技术规格参数 标准值
nRad/SRD200 nRad2/SRD300
基片尺寸

标准150*150mm

最大尺寸210x300mm，150或200mm晶圆

标准300x300mm，最大尺寸370x470mm

晶圆尺寸可达300mm
基片类型 玻璃、塑料、金属箔、硅晶圆、刚性或柔性基板 玻璃、塑料、金属箔、硅晶圆、刚性或柔性基板
基片厚度 刚性:0.5~6mm,柔性:>100μm 刚性:0.5~6mm,柔性:>100μm
涂布厚度范围 20nm~大于50μm
(干膜,取决于材料属性与系统参数设置)		 20nm~大于50μm
(干膜,取决于材料属性与系统参数设置)
涂布一致性/均匀性

对于大于150nm的膜厚(干膜)，±3%或更优

对于50~150nm的膜厚(干膜)，±5%或更优

对于大于150nm的膜厚(干膜)，±3%或更优

对于50~150nm的膜厚(干膜)，±5%或更优
涂布开始/结束边缘
影响宽度		 5~10mm或更小 5~10mm或更小
涂布材料粘度范围 标准1~50cP,使用高粘度系则可达10000cP 标准1~50cP,典型地使用高粘度泵则可达10000cP
系统填充量 低于20ml以下 低于30ml以下
系统尺寸及重量 长x宽x高:911mmx780mmx878mm
重量:170kg/380lbs		 长x宽x高:1307mmx941mmx921mm
重量大约:370kg/800lbs
认证 UL&CE UL&CE
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