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产品参数
Product Parameters
技术规格参数 标准值
基片类型    显示及浮法平板玻璃等
基片尺寸 G2~G10玻璃
基片厚度 玻璃：0.5~3.2mm
基片加载与卸载 手动或全自动化操作
涂层厚度范围 20nm~大于50μm(干膜,取决于材料属性与系统参数设置)
膜厚一致性 对于大于150nm的膜厚(干膜)，±3%或更优；对于50~150nm的膜厚(干膜)，±5%或更优
涂布开始/结束边缘影响宽度 5~10mm或更小
涂布材料粘度范围 标准1~50cP,典型地使用高粘度泵则可达10000cP
材料利用率 大于95%
制程周期(TACT) 典型为60秒,取决于基片尺寸及自动化程度
德沪涂膜设备（苏州）有限公司
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